山武azbil 原日本YAMATAKE 高精度位置檢測傳感器 K1G系列

型號：K1G-C04 K1G-C04E  K1G-S07 K1G-S15 

主要特點(diǎn)：

1、薄膜厚度檢測：控制器可接4組傳感器，在多個位置實(shí)現(xiàn)同步檢測，從而實(shí)現(xiàn)檢測的準(zhǔn)確性。

2、晶圓對準(zhǔn)：可高精度檢測透明度高的玻璃晶圓和砷化鎵晶圓。

3、薄膜糾偏檢測：利用控制器的演算功能，采用2組傳感器可同時實(shí)現(xiàn)糾偏檢測和薄膜寬幅檢測。

4、玻璃基板的異常判斷：250μs的響應(yīng)速度，不遺漏輸送狀態(tài)中的任何玻璃基板異常，配備事件記錄功能。

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