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挖掘機(jī)壓力傳感器作用詳解

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2014-10-21     來(lái)源:[標(biāo)簽:出處]     作者:[標(biāo)簽:作者]     瀏覽次數(shù):153
核心提示:
力敏傳感器是使用最廣泛的一種傳感器,它是檢測(cè)氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱,也包括測(cè)量高于大氣壓的壓力計(jì)以及測(cè)量低于大氣壓的真空計(jì)。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的測(cè)量方法是利用彈性元件的形變和位移來(lái)表示,但它的體積大、笨重、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,研制出半導(dǎo)體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn),因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當(dāng)對(duì)一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時(shí),其電阻率會(huì)產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng),利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器,它有兩種類型,一類是將半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)粘貼在彈性元件上制成的傳感器,稱為粘貼型壓阻式傳感器,另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻,使應(yīng)變計(jì)與硅襯底形成同一整體的傳感器,稱為擴(kuò)散型壓阻式傳感器。

  粘貼型壓阻式力敏傳感器由四只半導(dǎo)體應(yīng)變片接成全橋形式,用粘合劑貼在彈性元件上構(gòu)成,它具有很高的應(yīng)變靈敏系數(shù),一般為20~200,因此輸出高,輸出靈敏度一般為15~0mV/V,但易發(fā)生零點(diǎn)漂移與蠕變,同時(shí)還存在半導(dǎo)體應(yīng)變片和彈性元件熱膨脹所帶來(lái)的溫度漂移等影響。擴(kuò)散型壓阻式力敏傳感器大都采用單晶硅和半導(dǎo)體平面工藝制成的。一般以N 型硅為襯底,采用氧化、擴(kuò)散等工藝將硼原子沿給定的晶向擴(kuò)散到n 型硅襯底材料中,形成P 型擴(kuò)散層。

  結(jié)果硼擴(kuò)散區(qū)便形成應(yīng)變電阻,并用襯底形成一個(gè)整體,當(dāng)它受到壓力作用時(shí),應(yīng)變電阻發(fā)生變化,從而使輸出發(fā)生變化。

  壓阻式力敏傳感器有靈敏度高、精度高、體積小、重量輕、工作頻率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。

  電容式力敏傳感器近來(lái)得到了迅速發(fā)展,這種傳感器的核心部分是對(duì)壓力敏感的電容器。力敏電容器的電容量是由電極面積和兩個(gè)電極間的距離決定。

  當(dāng)硅膜片兩邊存在壓力差時(shí),硅膜片產(chǎn)生形變,電容器極板間的間距發(fā)生變化,從而引起電容量的變化。這樣,電容變化量與壓差有關(guān),因此,就可作為力敏傳感器。它與壓阻式力敏傳感器相比,具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、壓力量程大等特點(diǎn)。
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